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mitutoyo/超高精度三坐標測量機 LEGEX特征?

更新時間:2023-10-30      瀏覽次數:372

超高精度三坐標測量機 LEGEX




量機 LEGEX


采用固定橋式結構,可提供初項達0.28微米的測量精度。


產品特點與優勢


LEGEX系列是初項達0.28μm的高精度CNC三坐標測量機,對所有可能產生誤差的因素進行嚴格分析并排除或地降低其影響。

本體底座部分嚴選材料,采用密封結構以實現高剛性、高衰減性。采用FEM結構解析模擬進行的應力分析,保證了幾何運動精度,使負荷及其它變量波動造成的誤差降至最小。此外,還引入了各種技術來實現超高精度,如驅動單元的結構和振動對策等。

 用于位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元(自社開發),該單元采用熱膨脹系數為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合,具有位置檢測能力,可實現超高精度的機器控制功能。此外,提供豐富的選件,包括觸發式和非觸發式測頭,數據處理部等支持各種工件輕松實現高精度測量。


● 初項精度:0.28μm~



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