翘臀美女xx00后进式在阳台图_女人扒开屁股桶爽6O分钟美女_美女自慰在线观看_美女张开下身让男人桶

技術文章/ article

您的位置:首頁  -  技術文章  -  lintec-mfc/MC-7000系列特征?

lintec-mfc/MC-7000系列特征?

更新時間:2023-11-18      瀏覽次數:360

快速響應質量流量控制器

響應時間200毫秒的超高速質量流量控制器。

使用熱傳感器實現 100 毫秒(典型值)的高速流量控制。琳得科的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。

±1.0% SP的高精度流量精度,數字通信方式可選擇DeviceNet和EtherCAT。

特征

  • 超高速流量控制200msec

  • 精度±1%SP

  • 工作溫度5-50℃

  • 金屬密封

  • 清潔(保證顆粒)

  • 環境溫度補償傳感器

  • EtherCAT通訊

  • DeviceNet™ 通信

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導體制造工藝中,需要在小型化的同時提高產量。即使對于控制反應氣體流量的質量流量控制器,對更短的流量控制啟動(上升)時間的需求也在不斷增加。超高速質量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與流量測量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器,實現了200℃的超高速響應。毫秒。由于是非接觸式,因此可以在測量腐蝕性氣體的流量時進行高速流量控制。

規格表


溫度最小壓差最大壓差準確性控制范圍最小滿量程最大滿量程貼紙
5~50℃50kPa300kPa±1%SP2~100%滿量程5SCCM20SLM



公司簡介  >  在線留言  >  聯系我們  >  
產品中心
儀器
推薦產品

CONTACT

EMAIL:jiuzhou_dr@163.com
掃碼微信聯系
版權所有©2025 深圳九州工業品有限公司 All Rights Reserved   備案號:粵ICP備2023038974號   sitemap.xml技術支持:化工儀器網   管理登陸
主站蜘蛛池模板: 舒兰市| 盘锦市| 延安市| 南京市| 富源县| 凤翔县| 南召县| 买车| 芒康县| 申扎县| 新泰市| 陇南市| 桐庐县| 九台市| 宽甸| 隆昌县| 耒阳市| 阿合奇县| 泊头市| 武城县| 天全县| 庆城县| 太白县| 嘉鱼县| 云阳县| 道真| 读书| 兴安县| 布拖县| 黎川县| 旬阳县| 法库县| 巫山县| 丹棱县| 延边| 东乌珠穆沁旗| 富阳市| 合水县| 彩票| 增城市| 宁安市|