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okksg紫外線照射機FHUV-系列特征?

更新時間:2023-11-21      瀏覽次數(shù):436

高壓汞規(guī)格
全自動UV照射機

FHUV-系列
“緊湊型"和“高輸出"高壓汞燈規(guī)格

概述

高壓汞/金鹵燈全自動UV照射設(shè)備是一種使用具有強輻射能的燈管的紫外線固化設(shè)備。

裝入工件后,按下啟動按鈕,機器將全自動將工件從料庫中取出,并用紫外燈照射,并存儲,直到料庫中的工件全部完成。
根據(jù)目標工作,您可以選擇高壓汞燈和金屬鹵化物燈。

特征

  • 緊湊的機身

  • 可以進行 10 種配方設(shè)置(速度根據(jù)設(shè)置而變化)

  • 可使用觸摸面板以 4 種方式設(shè)置功率

  • 顯示累積照射量和紫外線照射強度(僅照射期間)

  • 可根據(jù)照射對象選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈

  • 配備自動設(shè)置變更功能,可自動切換至不同尺寸

  • 不僅可以照射切割框,還可以照射握持環(huán)。

  • 具備判斷UV照射是否完成的功能。

目的

可用于LSI晶圓、存儲器晶圓、LED晶圓、激光晶圓、傳感器晶圓、功率器件晶圓等各種工藝。

規(guī)格

尺寸寬1300×深1400×高1350(毫米)
重量約400公斤
駕駛空氣0.4Mpa以上
紫外線照度200mW/cm2以上
氮氣0.2Mpa以上 100L/min以上
電源交流三相200V 50/60Hz 100A

*尺寸適用于 8 英寸類型。


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