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h-square低接觸晶圓傳輸機(jī)-全自動(dòng)LCT2特征

更新時(shí)間:2023-12-02      瀏覽次數(shù):372

產(chǎn)品 

描述 

桌上型、自動(dòng)化、高價(jià)值的薄片晶圓和化合物晶圓轉(zhuǎn)移工具。 先進(jìn)的低接觸晶圓傳輸機(jī)(LCT)可提供最潔凈、可靠和快速的晶圓傳輸方式,

無(wú)論是一般標(biāo)準(zhǔn)晶圓或是易碎晶圓都可在的方式下在兩個(gè)料盒之間傳輸。高可靠性和低維護(hù)成本。小體積的設(shè)計(jì)節(jié)省了寶貴的潔凈室空間。

LCT2具有觸摸屏控制,聚偏二氟乙烯涂層桿,料盒門和晶圓檢測(cè)功能。



 


LCT2 特點(diǎn): 


觸摸屏控制

支撐桿采用PVDF 涂層,一次傳輸 25 個(gè)晶圓

料盒門存在檢測(cè)

料盒和工具中晶圓存在檢測(cè)

規(guī)格

晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm 

電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培電源單獨(dú)出售

產(chǎn)品尺寸10"寬 30"長(zhǎng) 16"高

重量40磅


附加信息

裝運(yùn)重量95磅

裝運(yùn)尺寸16 × 36 × 24 英寸


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