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sonosys兆聲波水槽介紹

更新時間:2024-03-15      瀏覽次數:182

兆聲波水槽

可根據需求定制水槽

在濕法工藝中有各種類型的水槽,例如VA(不銹鋼)或PVDF。換能器板可通過螺栓固定或焊接安裝在水槽內,然后成為水槽的一部分。在水槽設計過程中,根據換能板尺寸開缺口,然后由SONOSYS®完成最后的集成。


通常,所使用的溶劑(化學品)確定了水槽和兆聲波換能板涂層的材料。歡迎你們咨詢材料的選擇以及集成的方法,請隨時聯系我們。


應用實例:


兆聲波清洗系統是專門為半導體晶圓生產中的濕法工藝而開發(fā)的。主要是在SC1和SC2的清洗過程中,以及最后的沖洗,溫度范圍從20C至70C(最高適用于300m/12"晶圓)。


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