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美國Laurell ø200mm旋涂機

  • 產品型號:WS-650-8B
  • 更新時間:2024-09-02

簡要描述:美國Laurell ø200mm旋涂機WS-650-8B
Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結構緊湊,功能先進。 這款 650 系列涂布機系統可容納直徑達ø 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大轉速為12,000 RPM(基于直徑ø 100 毫米的硅晶圓)。

產品詳情
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域環保,化工,能源,電子,綜合

 美國Laurell ?200mm旋涂機WS-650-8B 

Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結構緊湊,功能先進。 這款 650 系列涂布機系統可容納直徑達? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大轉速為12,000 RPM(基于直徑? 100 毫米的硅晶圓)。

Laurell 獨的特的內部碗狀設計消除了濺回現象,因此無需安裝“濺水環"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱,既實用又方便。

封閉式碗狀設計,加上過程控制器的精確性,可使大多數涂層材料在靜止狀態下干燥,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內部關閉,以提供重疊密封,蓋子內部有一個特殊的排水溝,用于將流體引導到系統后部,以防止化學品意外滴落到基材上。

 美國Laurell ?200mm旋涂機WS-650-8B 

Laurell WS- 650-8 B 旋涂機 結構緊湊,功能先進。 這款 650 系列涂布機系統可容納直徑達? 200 毫米的晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178 毫米 × 178 毫米) 的基板,最大轉速為12,000 RPM(基于直徑? 100 毫米的硅晶圓)。

Laurell 獨的特的內部碗狀設計消除了濺回現象,因此無需安裝“濺水環"。我們的排氣排水適配器配有可拆卸儲水箱,既實用又方便。

封閉式碗狀設計,加上過程控制器的精確性,可使大多數涂層材料在靜止狀態下干燥,從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內部關閉,以提供重疊密封,蓋子內部有一個特殊的排水溝,用于將流體引導到系統后部,以防止化學品意外滴落到基材上。

美國Laurell ?200mm旋涂機


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